(¿ÞÂʺÎÅÍ) °æºÏ´ë ³ª³ë½Å¼ÒÀç°øÇаú ÃÖ¸í½Ä ±³¼ö, ¹ÚÁö¸í ¼®»ç°úÁ¤»ý, ¿¬¼¼´ë ½Å¼ÒÀç°øÇаú À̱ÔÇü ±³¼ö, ÁøÃ¢Çö ¿¬±¸±³¼ö./°æºÏ´ë Á¦°ø
°æºÏ´ëÇб³ ÃÖ¸í½Ä ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀÌ ´Ü 15ÃÊ ¸¸¿¡ Ãʹڸ· ź¼ÒÃþÀ» Çü¼ºÇÏ´Â ½Å°³³ä °øÁ¤À» °³¹ßÇϰí, À̸¦ Àû¿ëÇØ ±âÁ¸º¸´Ù °¨µµ°¡ Å©°Ô Çâ»óµÈ Â÷¼¼´ë °¡½º¼¾¼¿ë ³ª³ëº¹ÇÕ¼ÒÀ縦 ¼±º¸¿´´Ù.?
À̹ø ¿¬±¸´Â ¿¬±¸ÆÀÀÌ È¿° ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø¹ý(Flame Chemical Vapour Deposition, FCVD)¿¡ ±Þ³Ã(quenching) °øÁ¤À» °áÇÕÇÑ ¡®OSaCD(One-spoon Amorphous Carb
¸±°ÔÀÓ»çÀÌÆ® on Deposition)¡¯ ±â¼úÀ» »õ·Ó°Ô °³¹ßÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº »êȾƿ¬(ZnO) ´Ù°ø¼º ³ª³ë½ÃÆ® Ç¥¸é¿¡ ºñÁ¤Áú ź¼Ò(amorphous carbon) Ãʹڸ·À» ¾à 15ÃÊ ¸¸¿¡ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ÄÚÆÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.
±âÁ¸ »êȾƿ¬ ±â¹Ý °¡½º¼¾¼´Â °¨µµ Çâ»óÀ» À§ÇØ ±Í±Ý¼Ó µµÀÔ, µµÇÎ, °í¿Â ¿Ã³¸® µî º¹ÀâÇÑ ´Ù´Ü°è °øÁ¤À» °ÅÃÄ¾ß Çß
¾ß¸¶Åä°ÔÀÓ´Ù¿î·Îµå ´Ù. ¶Ç °¡½º ÈíÂø Ư¼ºÀ» ³ôÀ̱â À§ÇÑ Ç¥¸é °³Áú¿¡ ÁÖ·Î ÀÇÁ¸ÇØ °è¸éÀÇ ÀüÀÚ ±¸Á¶¸¦ Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÏ´Â µ¥ ÇѰ谡 ÀÖ¾ú´Ù. ƯÈ÷ »ê¼Ò °ø°ø(oxygen vacancy)À» Áõ°¡½ÃŰ´Â ¹æ½ÄÀº Àå±â ¾ÈÁ¤¼º°ú ÀçÇö¼º Ãø¸é¿¡¼ Á¦¾à ¿äÀÎÀ¸·Î ÁöÀûµÅ ¿Ô´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀÌ °³¹ßÇÑ ³ª³ëº¹ÇÕ¼ÒÀç´Â Ç¥¸é°ú °è¸éÀ» µ¿½Ã¿¡ Á¦¾îÇÏ´Â ¡®ÀÌÁß Á¢ÇÕ ¼³°è¡¯ ±¸Á¶¸¦ ±¸ÇöÇß
¸±°ÔÀÓ5¸¸ ´Ù. ¹° Ç¥¸é¿¡¼ Çü¼ºµÈ ºñÁ¤Áú ź¼Ò¸·À» »êȾƿ¬ ³ª³ë½ÃÆ® À§¿¡ Àü»çÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î, º°µµÀÇ Áø°ø Àåºñ ¾øÀÌ ´ë±â ȯ°æ¿¡¼ ´Ü½Ã°£ ³» °øÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿Ã³¸® ¿Âµµ Á¶ÀýÀ» ÅëÇØ ź¼ÒÀÇ °áÇÕ »óÅÂ¿Í °è¸é Ư¼ºÀ» ¼¼¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌó·³ Çü¼ºµÈ ź¼ÒÃþÀº Ç¥¸é¿¡¼ »ê¼Ò ÈíÂøÀ» ÃËÁøÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡, ź¼Ò¿Í »êȾƿ¬ÀÌ ¸Â´ê´Â °è¸é¿¡¼´Â
¹Ù´ÙÀ̾߱âµð½Ã »ê¼Ò °ø°øÀ» ¾ïÁ¦ÇØ ÀüÀÚ À̵¿ Ư¼ºÀ» Á¶ÀýÇÑ´Ù. ±× °á°ú °ø±â Áß À¯Çذ¡½ºÀÎ ÀÌ»êÈÁú¼Ò(NO©ü)°¡ ÈíÂøµÉ ¶§ Àü±â ÀúÇ× º¯È ÆøÀÌ Å©°Ô Áõ°¡ÇØ °¨Áö ½ÅÈ£°¡ ÇÑÃþ ¶Ñ·ÇÇØÁ³´Ù.
½ÇÇè °á°ú, 200¡É¿¡¼ ÀÌ»êÈÁú¼Ò 4ppm ³óµµ Á¶°Ç ±âÁØ ±âÁ¸ »êȾƿ¬ ³ª³ë½ÃÆ®ÀÇ °¨ÀÀµµ´Â ¾à 7 ¼öÁØÀ̾úÀ¸³ª, ź¼ÒÃþÀ» ÄÚÆÃÇÑ ³ª³ëº¹ÇÕ¼ÒÀç´Â ÃÖ´ë 18.8±îÁö
¹é°æ°ÔÀÓ Çâ»óµÆ´Ù. ¶ÇÇÑ 200ppbÀÇ ³·Àº ³óµµ¿¡¼µµ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °¨Áö°¡ °¡´ÉÇßÀ¸¸ç, 3°³¿ù ÀÌ»óÀÇ Àå±â ¾ÈÁ¤¼ºµµ È®ÀεƴÙ. ¿¬±¸ÆÀÀº ÀÌ·¯ÇÑ ¼º´É °³¼±ÀÌ Ç¥¸é°ú °è¸éÀÇ ÀüÀÚ ±¸Á¶¸¦ µ¿½Ã¿¡ Á¦¾îÇÑ µ¥ µû¸¥ È¿°ú¶ó°í ºÐ¼®Çß´Ù.
ÃÖ¸í½Ä ±³¼ö´Â ¡°±âÁ¸ ±Ý¼Ó »êȹ° ¼¾¼°¡ Ç¥¸é °³Áú¿¡ ÁýÁßÇß´Ù¸é, À̹ø ¿¬±¸´Â Ç¥¸é°ú °è¸éÀ» ÇÔ²² ¼³°èÇØ ÀüÀÚ ±¸Á¶ ÀÚü¸¦ Á¶ÀýÇÑ °ÍÀÌ Çٽɡ±À̶ó¸ç ¡°´ë±â »óÅ¿¡¼ ´Ü½Ã°£¿¡ ±¸Çö °¡´ÉÇÑ °øÁ¤À̶ó´Â Á¡¿¡¼ ´Ù¾çÇÑ ±Ý¼Ó »êȹ° ±â¹Ý ¼¾¼¿Í ¿¡³ÊÁö ¼ÒÀç ºÐ¾ß·ÎÀÇ È®Àå °¡´É¼ºÀÌ ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
À̹ø ¿¬±¸´Â Çѱ¹¿¬±¸Àç´Ü Áö¿ªÇõ½Å¼±µµ¿¬±¸¼¾ÅÍ(°æºÏ´ë ź¼ÒÁ߸³Áö´ÉÇü¿¡³ÊÁö½Ã½ºÅÛ¼¾ÅÍ) »ç¾÷°ú ¹Ú»çÈÄ¿¬±¸¿ø ¼ºÀåÇü °øµ¿¿¬±¸ »ç¾÷ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ¼öÇàµÆÀ¸¸ç, ¿¬±¸ °á°ú´Â Á¾ÇÕ°úÇÐ ºÐ¾ß ±¹Á¦ÇмúÁöÀÎ Journal of Advanced Research(IF 13.0)¿¡ Áö³ 1¿ù 30ÀÏ ¿Â¶óÀÎ °ÔÀçµÆ´Ù.
/±è¶ôÇö±âÀÚ kimrh@kbmaeil.com