·¹À̽º ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øµ¿Ã¢¾÷ÀÚµé. (»çÁø=¾ÆÅä¹ÌÄÚ)
[´õ±¸·ç=È«¼ºÀÏ ±âÀÚ]?Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇϰí ÀÖ´Â ³ë¸£¿þÀÌ ½ºÅ¸Æ®¾÷ ·¹À̽º ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(Lace Lithography, ÀÌÇÏ ·¹À̽º)°¡ ½Å±Ô ÅõÀÚ¸¦ À¯Ä¡Çß´Ù. ·¹À̽º´Â 2029³â±îÁö Çï·ý ¿øÀÚ ºöÀ» ÀÌ¿ëÇÑ?¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ½ÃÁ¦Ç°À» °³¹ßÇÑ´Ù´Â ¸ñÇ¥´Ù. ·¹À̽ºÀÇ ±â¼úÀÌ Çö½ÇȵǸé ASMLÀÇ?µ¶Á¡Àû ÁöÀ§°¡ µµÀü¹ÞÀ» °ÍÀ̶ó´Â ºÐ¼®°ú ÇÔ²² »ó¿ëȱîÁö´Â »ó´çÇÑ ½Ã°£ÀÌ ÇÊ¿äÇÒ °ÍÀ̶ó´Â Àü¸Áµµ ÇÔ²² ³ª¿À°í ÀÖ´Ù.
26ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ·¹À̽º´Â ½Ã¸®Áî A ÅõÀÚ ¶ó¿îµå¸¦ ÅëÇØ 4000¸¸ ´Þ
¸±°ÔÀÓ¹Ù´ÙÀ̾߱â»çÀÌÆ® ·¯(¾à 600¾ï¿ø)¸¦ Á¶´ÞÇß´Ù. À̹ø ÆÝµùÀº À¯·´ º¥Ã³Ä³ÇÇÅ»(VC) '¾ÆÅä¹ÌÄÚ'°¡ ÁÖµµÇßÀ¸¸ç ¸¶ÀÌÅ©·Î¼ÒÇÁÆ®(MS) »êÇÏ VC 'M12', ¸°¼¼ ijÇÇÅ», SETT, ´Ï½º³ú(Nysn©ª) µîÀÌ Âü°¡Çß´Ù.
·¹À̽º´Â 2023³â ¼³¸³µÆÀ¸¸ç Çï·ý ¿øÀÚ ºöÀ» ÀÌ¿ëÇÑ »õ·Î¿î ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇϰí ÀÖ´Ù. ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡´Â ³×´ú¶õµåÀÇ?ASMLÀÌ
¹Ù´ÙÀ̾߱â°í·¡ÃâÇö °³¹ßÇÑ '±ØÀڿܼ±(EUV)' ³ë±¤Àåºñ°¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ³ë±¤Àåºñ´Â ºûÀ» ÀÌ¿ëÇØ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â ÀåÄ¡·Î, ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤ Áß Æ÷Åä ´Ü°è¿¡¼ »ç¿ëµÈ´Ù.
ASMLÀº EUV¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ³ë±¤Àåºñ¸¦ µ¶Á¡ÀûÀ¸·Î °ø±ÞÇϰí ÀÖ´Ù. ASMLÀÇ ÀåÄ¡´Â ¾×ü»óÅÂÀÇ ÁÖ¼®À» ÃÊ´ç 5¸¸ ¹æ¿ïÀ» ¶³¾î¶ß¸®°í, °¢ ¹æ¿ï¸¶´Ù 2¹ø ÀÌ»êÈź¼Ò ·¹ÀÌÀú¸¦
¸±°ÔÀÓ¹«·á Á¶»çÇØ ³ª¿À´Â 13.5³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ÆÄÀåÀÇ EUV¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ »õ±ä´Ù. ASMLÀº ÃÖ±Ù ÁÖ¼® ¹æ¿ï ÅõÀÔ È½¼ö¸¦ 10¸¸ ¹øÀ¸·Î ´Ã¸®´Âµ¥ ¼º°øÇß´Ù. ÀÌ¿¡ ±¤¿ø Ãâ·ÂÀ» ±âÁ¸ 600W(¿ÍÆ®)¿¡¼ 1000W·Î ²ø¾î¿Ã·È´Ù.
¹Ý¸é ·¹À̽º´Â ºû ´ë½Å Áß¼º Çï·ý ¿øÀÚ¸¦ ºöó·³ ½÷¼ ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â ±â¼úÀ» ¿¬±¸Çϰí ÀÖ´Ù. ¿øÀÚ ÀÚü¸¦
¿À¼ÇÆÄ¶ó´ÙÀ̽º´Ù¿î·Îµå ½î´Â ¸¸Å ºûÀÇ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀÎ 'ȸÀý(ºûÀÌ ±¼ÀýµÅ ÆÛÁö´Â Çö»ó)'ÀÌ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù. ¶ÇÇÑ ¿øÀÚ ÀÚü¸¦ ¹ß»çÇÏ´Â ÇüÅÂÀÎ ¸¸Å ÆÄÀåµµ 0.1nm¿¡ ºÒ°úÇÏ´Ù. ASMLÀÌ »ç¿ëÇÏ´Â EUVº¸´Ù 135¹è³ª ªÀº °ÍÀÌ´Ù. ·¹À̽º´Â ÀÚ»ç ½Ã½ºÅÛÀ» ÀÌ¿ëÇϸé ÇöÀç Ãâ½ÃµÈ ÃÖ»óÀ§ ½Ã½ºÅÛº¸´Ù 10¹è ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ °øÁ¤µµ ±¸Çö °¡´ÉÇÏ´Ù°í ¼Ò°³Çß´Ù. ·¹À̽º´Â ÀÚ»çÀÇ ±â¼úÀ» 'ºñ¿æµå
¹Ù´Ù½Å2 ´Ù¿î·Îµå -EUV(Beyond-EUV, BEUV)'·Î Á¤ÀÇÇϰí ÀÖ´Ù.
·¹À̽º´Â À̹ø¿¡ È®º¸ÇÑ ÀÚ±ÝÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î 2029³â±îÁö ÆÄÀÏ·µ ÆÕÀ» ±¸ÃàÇÑ´Ù. ÇØ´ç ÆÄÀÏ·µ ÆÕ¿¡¼´Â Çï·ý ¿øÀÚ ºö ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÀåºñÀÇ Å×½ºÆ®¸¦?ÁøÇàÇÒ?¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¾÷°è´Â ·¹À̽º ±â¼úÀÌ »ó¿ë鵃 ¶§±îÁö´Â »ó´çÇÑ ½Ã°£ÀÌ ÇÊ¿äÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸°íÀÖ´Ù. ½ÇÁ¦·Î ASMLµµ EUV ³ë±¤ ±â¼úÀ» »ó¾÷ÈÇϴµ¥ 10³â °¡·®ÀÇ ½Ã°£ÀÌ ÇÊ¿äÇß´Ù. ¶ÇÇÑ ·¹À̽ºÀÇ ±â¼úÀÌ ºûÀ» ÀÌ¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â¸¸Å ±âÁ¸ ÆÄ¿îµå¸® »ýŰ迡 Àû¿ëµÇ´Âµ¥µµ ÇѰ谡 ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ºÐ¼®Çß´Ù.
·¹À̽º °ü°èÀÚ´Â "Çï·ý ¿øÀÚ ºö ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀÌ ¿Ï¼ºµÇ¸é ¿øÀÚ ¼öÁØ ÇØ»óµµ·Î ȸ·Î¸¦ ±×¸± ¼ö ÀÖÀ» °Í"À̶ó¸ç "ÇâÈÄ 100³â°£ ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô Çϰڴٴ ¹Ì¼ÇÀ» ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇØ ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ÁýÁßÇϰڴÙ"°í ¸»Çß´Ù.