ASML ÄÚ¸®¾Æ '±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ' / ASML Á¦°ø
¼¼°è ÃÖ´ëÀÇ ³ë±¤Àåºñ ±â¾÷ ASMLÀÇ Çѱ¹ Áö»çÀÎ ASML ÄÚ¸®¾Æ°¡ Áö³ÇØ ¹®À» ¿¬ °æ±â ȼºÄ·ÆÛ½º ³»¿¡ '±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ'¸¦ °³¼ÒÇß´Ù. ASML ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ´Â ½ÉÀڿܼ±(DUV), ±ØÀڿܼ±(EUV) Àåºñ¿Í ¸ðµâ, Ŭ¸°·ëÀÌ ¸ðµÎ °®ÃçÁ® ÀÖ´Â ½Ã¼³ÀÌ´Ù. Àü¹® °í°´»ç ´ã´ç ¿£Áö´Ï¾î ¾ç¼º°ú ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ±â¼ú ¹ßÀüÀ» À§ÇÑ ÇÙ½É °ÅÁ¡ ¿ªÇÒÀ» ´ã´çÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. À̹ø °³¼Ò½Ä¿¡´Â ASML ÄÚ¸®¾ÆÀÇ ÃÖÇÑÁ¾ ´ëÇ¥, ±è³²À± ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ ¸Å´ÏÀú µî ÁÖ¿ä
¿À¼Ç¸±°ÔÀÓ ÀÓ¿øÁø°ú ¾÷°è °ü°èÀÚµéÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
ASML ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ´Â ±âÁ¸ ASML ȼº¿ÀÇǽº¿Í ¿ëÀο¡¼ °¢°¢ ¿î¿µµÇ´ø µÎ Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾Å͸¦ ASML ȼºÄ·ÆÛ½º Bµ¿ ÃÑ 3100§³ ±Ô¸ð·Î ÅëÇÕ Áý¾àÇÑ °ø°£ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °íµµÈ·Î Àåºñ¡¤¿î¿µ ³À̵µ°¡ ³ô¾ÆÁö´Â ȯ°æ ¼Ó¿¡¼ ±¹³» ÷´Ü ³ë±¤Àåºñ ±³À°À» »ó½Ã¡¤Ã¼°èÀûÀ¸·Î Á¦°øÇÏ´Â ÀÎÇÁ¶ó¸¦ ±¸
¸±°ÔÀÓ ÃàÇß´Ù´Â µ¥ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù.?
±è³²À± ASML ÄÚ¸®¾Æ ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ ¸Å´ÏÀú´Â "ASML°ú °í°´»ç ±³À°»ý ¼ö¸¦ ÇÕÄ¡¸é ¿¬°£ ¾à 4000¸íÀÌ ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ¿¡¼ ±³À°À» ¹Þ°Ô µÈ´Ù"¸ç "±¹³»¿¡¼µµ ¾çÁúÀÇ ±³À°À» ½Å¼ÓÇÏ°Ô ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ¾î ½Ã°£ ¹× ºñ¿ë Àý°¨Àº ¹°·Ð, ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú °íµµÈ ¼Óµµ¿¡ ¸ÂÃç ¿£Áö´Ï¾îÀÇ ¿ª·®°ú Àü¹®¼ºÀ»
¹Ù´ÙÀ̾߱â2 Á¦°íÇÏ´Â Áß¿äÇÑ ±â¹ÝÀÌ µÉ °Í"À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
ASML ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ¿¡´Â 20¿©°³ÀÇ °Àǽǰú 25¸íÀÇ Àü´ã °»ç°¡ »óÁÖÇϸç, ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ EUV Àåºñ ½ÉÈ °úÁ¤ÀÎ 'ÆÕ(Fab) ready2'¸¦ Æ÷ÇÔÇØ ÃÑ 130°³ ÀÌ»óÀÇ ±³À° ÇÁ·Î±×·¥À» Á¦°øÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ DUV¡¤EUV Àåºñ¿Í ¸ðµâ, Ŭ¸°·ë°ú ÇÔ²² ½ÇÁ¦ °¡µ¿ ÁßÀÎ EUV ¸ðµâ
¸±¹Ú½º µµ º¸À¯ÇØ ±³À°»ýµéÀÌ ÆÕ(Fab) ÇöÀå°ú µ¿ÀÏÇÑ Á¶°Ç¿¡¼ ºÎǰÀ» ´Ù·ç¸ç ½Ç¹« Áß½ÉÀÇ ±³À°À» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
ÇâÈÄ¿£ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÇÙ½É Àåºñ·Î Æò°¡¹Þ´Â ÇÏÀÌ-NA EUV(High-NA EUV) Àåºñ ±³À°µµ Ä¿¸®Å§·³¿¡ Ãß°¡ÇØ, ASML CS ¿£Áö´Ï¾î´Â ¹°·Ð °í°´»ç¿¡°Ôµµ ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ °ÀÇ ¹× ½Ç½À ±³À°À» Áö¼Ó Á¦°øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¹Ù´ÙÀ̾߱⸱°ÔÀÓ¿¬Å¸ ÃÖÇÑÁ¾ ASMLÄÚ¸®¾Æ ´ëÇ¥(°¡¿îµ¥)¿Í ±è³²À± ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ ¸Å´ÏÀú(¿ÞÂÊ Ã¹¹øÂ°) µîÀÌ Áö³ 10ÀÏ ASML ȼº Ä·ÆÛ½º ³» '±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ' °³¼Ò½Ä¿¡ Âü¼®ÇØ °ü°èÀÚµé°ú ±â³äÃÔ¿µÀ» Çϰí ÀÖ´Ù. / ASML ÄÚ¸®¾Æ Á¦°ø
ÃÖÇÑÁ¾ ASML ÄÚ¸®¾Æ ´ëÇ¥´Â "¹ÝµµÃ¼ °æÀï·ÂÀº °³º° ±â¾÷ÀÇ ³ë·Â¸¸ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó »ýŰè Àü¹ÝÀÇ ±â¼ú¡¤ÀÎÀç ¿ª·®ÀÌ ÇÔ²² ¿Ã¶ó°¥ ¶§ °ÈµÈ´Ù"¸ç "ASMLÀº ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ ÄÚ¸®¾Æ¸¦ °ÅÁ¡À¸·Î ±³À°¡¤½Ç½À ÀÎÇÁ¶ó¸¦ È®´ëÇØ °í°´»çÀÇ ±â¼ú °íµµÈ¸¦ Áö¿øÇϰí, ÃæºÐÇÑ ±³À°°ú ÈÆ·ÃÀ» °®Ãá Àü¹® ÀÎÀç ¾ç¼º¿¡µµ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÅõÀÚÇØ ³ª°¥ °Í"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ASMLÀº 2010³â Çѱ¹¿¡ ÀÚ»çÀÇ Àåºñ ¼³Ä¡ ¹× ¾÷±×·¹À̵带 ´ã´çÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾îÀÇ ¿ª·® °³¹ß°ú ¼÷·ÃµÈ ¿£Áö´Ï¾î ¹èÃâÀ» À§ÇÑ ±³À° ½Ã¼³ÀÎ ÇÚÁî ¿Â ¾ÆÄ«µ¥¹Ì (Hands on Academy)¸¦ ¿¾ú´Ù. ÀÌÈÄ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ºÐ¾ß ¿£Áö´Ï¾î ±³À° ¹× Àü¹®¼º °³¹ß¿¡ Áö¼Ó ÅõÀÚÇÏ¸ç °í°´»çµéÀÇ ¼º°ø°ú Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ »ýŰèÀÇ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©Çß´Ù.
ASML ÄÚ¸®¾Æ´Â 2018³â µ¿Åº º»»ç¿¡ ±âº» ±³À°À» À§ÇÑ Ã¹ ±Û·Î¹ú EUV Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾Å͸¦ °³¼ÒÇß°í, 2023³â¿¡´Â ¿ëÀο¡ Advanced EUV Àåºñ ±³À°¿¡ Æ¯ÈµÈ ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾Å͸¦ Ãß°¡ È®ÀåÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.?
ȲÁ¤¼ö ±âÀÚ hjs@hankyung.com