지난해 11월 경기 화성시에서 열린 ASML코리아 화성캠퍼스 준공식에는 크리스토퍼 푸케 ASML CEO와 삼성전자·SK하이닉스 양사 최고 경영진이 모두 참석했다. [산업통상부 제공]


[헤럴드경제=김현일 기자] 삼성전자와 SK하이닉스가 고성능 인공지능(AI) 메모리 개발을 위해 첨단 제조장비 구매를 늘리면서 국내에 진출한 외국계 반도체 제조장비 업체들도 두 자릿수 성장세를 기록하며 수혜를 누린 것으로 나타났다.
양사가 고대역폭메모리(HBM)의 성능 강화를 위해 미세공정 전환을 서두르고 있는 만큼 초정밀 반도체 제조장비에 대한 수요 사이다쿨 는 지속적으로 강세를 띨 것이란 전망이 나온다.
6세대 HBM4부터 베이스다이가 파운드리를 통해 만들어지면서 무게중심이 D램 공정에서 로직 공정으로 옮겨간 데다 갈수록 높이 쌓아 올리는 적층 경쟁이 치열해져 첨단 패키징 장비 수요가 우상향하고 있다는 분석이다.
장비사들에게도 중국 시장이 주춤한 상황에서 양대 메모리 기업이 릴게임5만 포진한 한국 시장은 전략적으로 더욱 중요한 지역이 됐다. 이에 맞춰 인프라 투자 및 인재 채용 등을 통해 공략 속도를 올리고 있다.
19일 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 국내에 설립한 ASML코리아의 감사보고서에 따르면 2025년 연간 매출은 91억1800만 유로(15조8900억원)를 기록했다. 전년 같은 기간 70억5100만 유로 야마토게임무료다운받기 (약 12조2900억원) 대비 29.3% 성장했다.
ASML코리아의 매출은 삼성전자와 SK하이닉스에 판매하는 반도체 시스템 장비 및 부품 그리고 장비 유지보수 및 기술 지원 서비스를 통해 발생한다.
가장 큰 비중을 차지하는 시스템 장비 매출은 제품을 양사에 인도한 시점에 수익으로 인식한다. ASML코리아의 시스템 장비 매 바다이야기하는법 출은 2024년 7조8700억원에서 지난해 10조6600억원으로 1년 만에 35% 불어나며 실적 성장에 크게 기여한 것으로 나타났다.
삼성전자와 SK하이닉스가 버티고 있는 한국은 ASML에게 갈수록 중요한 시장이 되고 있다. 올 1분기 ASML의 전체 매출에서 한국 비중은 45%를 기록했다. 이는 작년 1분기 40%보다 5% 포인트 늘어난 오션파라다이스다운로드 수치다. 대만(23%), 중국(19%)과 큰 격차를 보였다.
세계 2위 장비업체인 ASML은 반도체 크기를 줄이는 초미세 공정의 필수 장비로 꼽히는 극자외선(EUV) 노광장비를 세계에서 유일하게 생산 중이다. 장비 한 대 가격이 7000억원 수준임에도 고객사들이 이를 구매하기 위해 줄을 서 ‘슈퍼 을’이라는 별칭을 얻었다.
반도체 회로를 더 얇게 그리기 위한 경쟁이 치열해지면서 모든 제조사들이 ASML을 바라보는 상황이다. 반도체 회로를 정밀하게 새길수록 더 많은 트랜지스터를 장착해 처리 속도와 메모리 용량을 늘릴 수 있기 때문이다.
현재 삼성전자가 경기도 평택(P4·P5)에, SK하이닉스가 충북 청주(M15X)에 신규 생산시설을 조성하면서 EUV 장비 확보에 속도를 내고 있다. 이를 통해 6세대 HBM4의 기반이 되는 D램 생산능력을 끌어올린다는 방침이다.
SK하이닉스는 지난달 ASML코리아로부터 11조9497억원 규모의 EUV 노광장비를 오는 2027년 12월까지 단계적으로 인도받기로 했다고 공시한 바 있다.



어플라이드 머티어리얼즈가 지난해 11월 26일 서울 강남구 그랜드인터컨티넨탈 서울 파르나스에서 소개한 ‘키넥스 본딩 시스템’. 김현일 기자


세계 1위 반도체 장비사 미국 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT) 코리아도 2025 회계연도(2024년 11월~2025년 10월) 기준 매출이 15조5600억원을 기록해 전년 대비 17% 성장세를 보였다.
식각·증착 등 반도체 전공정 대부분에 필요한 장비를 생산하고 있는 AMAT는 삼성전자, SK하이닉스 등에 장비를 공급하고 있다.
삼성전자와 SK하이닉스는 최근 AMAT가 미국 실리콘밸리에 조성 중인 연구개발(R&D) 시설 ‘에픽(EPIC)센터’의 창립 파트너로 합류하며 차세대 AI 메모리 개발을 위한 협력을 공고히 하고 있다.
도쿄일렉트론코리아 역시 2025 회계연도(2024년 4월~2025년 3월) 매출이 1조5290억원을 기록해 전년 대비 34% 증가했다. 작년 12월 실적 발표내용에 따르면 한국 시장 매출 비중은 전체의 27.1%까지 상승했다. 이는 최근 9개 분기 중 최고 수준이다. 반면, 한때 49.9%를 차지했던 중국 비중은 31.8%까지 떨어졌다.
반도체 장비업계는 미국의 반도체 장비 수출규제 등으로 인해 중국의 전략적 중요도가 이전보다 떨어졌지만 한국을 비롯한 다른 주요 거점에서 증설을 진행하면서 하락분을 상쇄해줄 것으로 전망하고 있다.
카운터포인트리서치는 최근 ‘세계 5대 반도체 장비사 매출 트래커 보고서’에서 “노광, 식각, 증착, 공정 제어, 첨단 패키징 등을 통해 5대 장비사의 2026년 매출이 전년 대비 약 11% 증가할 것”이라고 전망했다.